电子级溶剂广泛应用于微电子、光电子湿法工艺制程中,是显示面板、半导体、太阳能电池等设备制造中不可缺少的原料(图1.1和图1.2)。选择合适的电子级溶剂对产品质量至关重要,若用于显示面板制造的溶剂中含有多余的金属离子和个别尘埃颗粒,会导致面板产生较大缺陷。
超干、超纯等溶剂水分含量低、纯度高,但是对金属离子、颗粒粒径的控制远远不够。因此,选择合适的电子级溶剂更有利于达到预期研究结果,保障生产质量。
市场上电子级溶剂级别众多,常见的如MOS、UP-S、VL等,质量标准各不相同。到底该如何选择?
百灵威建议您先明确应用领域,然后参照下表选择对应等级的电子级溶剂,并仔细核对质量标准。
级别 | 应用领域 | 产品名称 | 产品编号 |
---|---|---|---|
EL | 光伏太阳能领域 | 磷酸 | 912879 |
N-甲基吡咯烷酮 | 922080 | ||
EHL-I | 分立器件、平板显示、LED | 乙酸 | 987265 |
氢氟酸 | 990529 | ||
二甲苯 | 961477 | ||
异丙醇 | 992360 | ||
EHL-II | 平板显示、LED,集成电路(IC线介于0.2-0.6 um) | 乙醇 | 981866 |
异丙醇 | 912913 | ||
甲醇 | 934255 | ||
氨水 | 959385 |
百灵威参照国际半导体协会SEMI标准,将电子级溶剂分为EL、EHL-I、EHL-II三个级别(表2)。
严格把控生产线,所有电子级溶剂通过如下生产工艺,保证产品质量: