如何正确选用电子级溶剂

时间: 2020-09-04
作者: 百灵威
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如何正确选用电子级溶剂-百灵威

电子级溶剂广泛应用于微电子、光电子湿法工艺制程中,是显示面板、半导体、太阳能电池等设备制造中不可缺少的原料(图1.1和图1.2)。选择合适的电子级溶剂对产品质量至关重要,若用于显示面板制造的溶剂中含有多余的金属离子和个别尘埃颗粒,会导致面板产生较大缺陷。


图1.1. 液晶面板和集成电路应用

图1.2. 太阳能电池领域应用

可以选择其他级别溶剂代替吗?

超干、超纯等溶剂水分含量低、纯度高,但是对金属离子、颗粒粒径的控制远远不够。因此,选择合适的电子级溶剂更有利于达到预期研究结果,保障生产质量。

如何选择电子级溶剂?

市场上电子级溶剂级别众多,常见的如MOS、UP-S、VL等,质量标准各不相同。到底该如何选择?

百灵威建议您先明确应用领域,然后参照下表选择对应等级的电子级溶剂,并仔细核对质量标准。

表1. 各级别产品的质量标准和应用领域
级别 应用领域 产品名称 产品编号
EL 光伏太阳能领域 磷酸 912879
N-甲基吡咯烷酮 922080
EHL-I 分立器件、平板显示、LED 乙酸 987265
氢氟酸 990529
二甲苯 961477
异丙醇 992360
EHL-II 平板显示、LED,集成电路(IC线介于0.2-0.6 um) 乙醇 981866
异丙醇 912913
甲醇 934255
氨水 959385

百灵威参照国际半导体协会SEMI标准,将电子级溶剂分为EL、EHL-I、EHL-II三个级别(表2)。

表2. SEMI级别标准及与我司级别对应关系

严格把控生产线,所有电子级溶剂通过如下生产工艺,保证产品质量:

  • 经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子
  • 专业无尘车间灌装
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