超净高纯化学品是半导体、光电材料制造等领域中的关键原料,其纯度和洁净度直接影响下游产品的质量和性能。因此,超净高纯化学品的颗粒控制严格,金属离子等杂质的含量通常在 ppb级别甚至更低。不同线宽的集成电路制作工艺技术,对高纯电子化学品中金属杂质和颗粒物的标准如下表所示:
SEIM标准 | Grade1 | Grade2 | Grade3 | Grade4 | Grade5 |
金属杂质 | ≤1ppm | ≤10ppb | ≤1ppb | ≤100ppt | ≤10ppt |
粒径控制 | ≤1.0μm | ≤0.5μm | ≤0.5μm | ≤0.2μm | / |
颗粒控制 | ≤25个/mL | ≤25个/mL | ≤5个/mL | / | / |
IC线宽 | ≥1.2μm | 0.8-1.2μm | 0.2-0.6μm | 0.09-0.2μm | ≤0.09μm |
应用 | 分立器件 太阳能电池 | 显示面板 | 大规模集成电路 超高清LCD、OLED显示面板 | 超大规模集成电路 超高清LCD、OLED显示面板 | |
超净高纯化学品通常采用多级精馏、离子交换树脂、膜分离等传统方法进行提纯,操作复杂,生产效率低,人工成本高。百灵威推出
硅胶金属吸附剂系列产品,以
纳米至微米级固体颗粒状硅胶为骨架,在表面或涂层上键合多功能官能团,结合多孔结构,可将金属杂质离子含量降至
ppb级别。
粒径和孔径可按客户需求定制,小粒径比表面积大,吸附效果更好;大粒径更容易过滤。此外,根据项目的具体情况,我们可以提供产品筛选和推荐试用服务。产品优势如下:
- 产品种类全:表面官能团种类多样,涵盖巯基、巯嗪基、氨基、咪唑基、脲基、氨醇基等多种类别,适用于去除元素周期表中60%以上的金属;
- 稳定性好:以纳米至微米级固体颗粒状硅胶为骨架的刚性结构,热稳定性和物理稳定性好;
- 吸附量高:多孔结构比表面积大,接触面积大,吸附性能优异;
- 选择性吸附:多功能官能团能与目标金属离子发生键合反应,亲和性高,不对其他组分产生影响;
- 纯度高,溶剂兼容性好,使用前无需预处理。
使用方法
- 直接添加法:待反应完成且温度降低至80°C以下时,将吸附剂直接加入反应釜中,此时物料有一定的温度时吸附剂吸附效率更高,简单便捷,无需添加其他设备,能使金属离子杂质含量降低至个位数ppb级。
- 过柱法:此方法需增加吸附剂柱,待反应完成后,可将产品直接过柱,或将产物纯化后再过柱。两种方式均能使金属离子杂质含量降低至ppb级,后者吸附剂使用量较少,金属离子去除效率更高。
推荐产品
品名 | 主要官能团 | 规格 | 适用范围 | 货号 |
Metal adsorbent PMA-001 金属吸附剂PMA-001 | 氨基 | 官能团负载率≥1.2mmol/g 粒径: 40 - 75 µm 孔径: 100Å | 可去除金属Cd,Cr,Pd,Pt,Rh,Re,Ru,Co,Cu,Fe,Hg,Pb,W,Zn。适用于去除金属Pd,Pt,Cr,W,Zn。 | 9426224 |
Metal adsorbent MTA-010 金属吸附剂MTA-010 | 磺酸基 | 官能团负载率≥0.9mmol/g 粒径: 40 - 75 µm 孔径: 100Å | 可去除金属Ag,Cu,Fe,Ni,Pb,Pd,Rh,Pt,Ru,Sn,Zn。 | 9428257 |
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